1. 水酸化テトラメチルアンモニウム
1.1. 一般情報、類義語
1.2. 組成、化学構造
1.3. 安全性情報
1.4. 危険有害性の特定
1.5. 取り扱いと保管
1.6. 毒性学的および生態学的情報
1.7. 輸送情報
2. 水酸化テトラメチルアンモニウムの用途
2.1. 水酸化テトラメチルアンモニウムの応用分野、川下製品
3. 水酸化テトラメチルアンモニウムの製造法
4. 水酸化テトラメチルアンモニウムの特許
概要
概要
発明の概要
発明の詳細な説明
5. 世界の水酸化テトラメチルアンモニウム市場
5.1. 一般的な水酸化テトラメチルアンモニウム市場の状況、動向
5.2. 水酸化テトラメチルアンモニウムのメーカー
– ヨーロッパ
– アジア
– 北米
– その他の地域
5.3. 水酸化テトラメチルアンモニウムのサプライヤー（輸入業者、現地販売業者）
– 欧州
– アジア
– 北米
– その他の地域
5.4. 水酸化テトラメチルアンモニウム市場予測
6. 水酸化テトラメチルアンモニウム市場価格
6.1. 欧州の水酸化テトラメチルアンモニウム価格
6.2. アジアの水酸化テトラメチルアンモニウム価格
6.3. 北米の水酸化テトラメチルアンモニウム価格
6.4. その他の地域の水酸化テトラメチルアンモニウム価格
7. 水酸化テトラメチルアンモニウムの最終用途分野
7.1. 水酸化テトラメチルアンモニウムの用途別市場
7.2. 水酸化テトラメチルアンモニウムの川下市場の動向と展望
テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（TMAH）は、化学式が (CH₃)₄NOH で示される四級アンモニウム化合物であり、CAS番号は75-59-2です。この化合物は有機合成や半導体産業などで広く利用されており、通常は水溶液やメタノール溶液として取り扱われます。TMAHはアルカリ性の非常に高い液体として知られ、腐食性が強いため取り扱いには十分な注意が必要です。
化学的には、TMAHはアンモニウムイオンに4つのメチル基が結合している構造を持ち、陰イオンとして水酸化物イオンが結合しています。この構造は、化合物に強い塩基性を与え、さまざまな化学反応で使われる要因となっています。特に半導体製造プロセスでは、フォトリソグラフィー工程でのレジスト剥離剤やエッチング溶液としての用途があります。これにより、極めて微細な回路の形成が可能となります。
TMAHの製造方法については、塩化テトラメチルアンモニウムの水酸化ナトリウムとの反応によるものが一般的です。この反応を経て生成されるTMAHは、水分との反応で安定した水酸化物溶液を形成します。これにより、用途に応じた濃度の溶液を調製することが可能です。
関連する特許や技術については、主に半導体技術の分野で多く見られます。特に、微細加工技術におけるレジストパターンの形成およびエッチングプロセスにおいて、TMAHを利用した新技術や改善方法の特許が数多く存在します。こうした特許では、TMAHを用いることで高精度かつ高効率な加工を実現するための方法が詳述されています。
安全性においては、TMAHはその強アルカリ性ゆえに取り扱いに関して厳重な注意が必要です。皮膚や目への接触は重篤な損傷を引き起こす可能性があり、吸入や摂取は生命に危険をもたらすことがあります。そのため、取り扱う際には防護メガネや手袋、適切な換気装置を使用することが推奨されます。また、万一のために安全データシート（SDS）を事前に参照し、適切な応急処置ができる体制を整えておくことが重要です。
TMAHはその特性から高い利便性を提供する一方で、取り扱いに際しては安全規則の遵守が求められます。プロセスの革新や新たな応用が継続的に検討される中で、その特異な特性を最大限に活用するための研究開発も進んでおり、今後も重要な化学物質としての地位を保ち続けるでしょう。
❖ 免責事項 ❖
http://www.globalresearch.jp/disclaimer
