1. トリクロロシラン
1.1. 一般情報、類義語
1.2. 組成、化学構造
1.3. 安全性情報
1.4. 危険有害性の特定
1.5. 取り扱いと保管
1.6. 毒性学的および生態学的情報
1.7. 輸送情報
2. トリクロロシランの用途
2.1. トリクロロシランの応用分野、川下製品
3. トリクロロシランの製造法
4. トリクロロシランの特許
概要
概要
発明の概要
発明の詳細な説明
5. 世界のトリクロロシラン市場
5.1. 一般的なトリクロロシラン市場の状況、動向
5.2. トリクロロシランのメーカー
– ヨーロッパ
– アジア
– 北米
– その他の地域
5.3. トリクロロシランのサプライヤー（輸入業者、現地販売業者）
– 欧州
– アジア
– 北米
– その他の地域
5.4. トリクロロシラン市場予測
6. トリクロロシラン市場価格
6.1. 欧州のトリクロロシラン価格
6.2. アジアのトリクロロシラン価格
6.3. 北米のトリクロロシラン価格
6.4. その他の地域のトリクロロシラン価格
7. トリクロロシランの最終用途分野
7.1. トリクロロシランの用途別市場
7.2. トリクロロシランの川下市場の動向と展望
トリクロロシラン（Trichlorosilane、CAS 10025-78-2）は、化学式HSiCl₃で表される化合物であり、シラン類に属する化学物質です。この物質は塩化シリコン系化合物で、無色から薄い黄色の液体として存在します。特有の刺激臭を持ち、可燃性があるため取り扱いには注意が必要です。
トリクロロシランは主に半導体産業で使用される高純度シリコンの製造において重要な化合物であり、単結晶シリコンや多結晶シリコンの原料として広く利用されています。シリコンウェハの製造過程では高純度のシリコンを得るためにトリクロロシランを熱分解し、水素を還元剤として使用します。この過程をシーメンス法と呼び、半導体や太陽電池の基板材料となるシリコンの製造において核心的な技術です。また、トリクロロシランは有機ケイ素化合物の前駆体としても用いられ、シリコーン合成の中間体としての役割も果たしています。
トリクロロシランはその化学特性上、湿気や水と反応してシランや塩化水素を生成します。この反応は腐食性を持ち強酸性のガスを発生させるため、保管中の気密性を維持し、適切な換気を確保することが重要です。また、酸化性物質との接触は避け、火気から遠ざける必要があります。
製造方法については、主に塩化水素と金属シリコンの直接反応によって合成されます。シリコンの粉末と塩化水素ガスを700°C程度の高温で反応させてトリクロロシランを得る方法が一般的です。反応は生産効率が高く、コスト面でも有利なため、世界中の多くの化学工業で採用されています。
関連技術としては、シリコンの成長メカニズムやシリコン層の制御技術が挙げられます。特許も多数存在し、特に半導体グレードの高純度シリコンの製造技術に関するものが多く見られます。これらの技術革新はシリコンベースの電子デバイスの性能向上に寄与しており、トリクロロシランはその素材として不可欠な存在となっています。
安全性に関しては、トリクロロシランは引火性と腐食性の両方を持つため、取り扱い時には個人用保護具を着用し、適切な安全管理が求められます。特に、吸入や皮膚接触を避けるために、化学安全ゴーグル、防護手袋、および耐酸性の服を使用することが推奨されています。漏洩時には速やかに換気を行い、適切な中和処理が必要です。安全データシート（SDS）に従って取り扱うことが基本となります。
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